برای این کار بعضی نمونهها را مستقیماً و بعضی را نیز بعد از چسباندن بر روی شیشه و حل آلومینیوم آنها درون کوره قرار دادیم. با افزایش دما اکسیژن از درون دیوارهی آلومینای متخلخل به درون سیمها نفوذ کرده و سبب اکسایش تدریجی آنها می شود.
برای نمونه Zn طبق بعضی مقالات از دمای c3000 و مدت زمان حدود ۳۵ ساعت استفاده کردیم. با توجه به بعضی دیگر از مقالات افزایش تدریجی دما نیز می تواند در بهتر اکسید شدن سیمها موثر باشد، در نتیجه بعضی نمونهها را نیز با افزایش تدریجی، ابتدا با رساندن به دمای c1000 و حدود یک ساعت ماندن در این دما، سپس افزایش تا c2000 و توقف مجدد یک ساعته در این دما و سپس افزایش تا مقدار نهای c3000 و ادامه تا اتمام ۳۵ ساعت اکسید کردیم. اکسایش نانوسیمهای Zn را هم بطور مستقیم و هم با افزایش تدریجی دما انجام دادیم. در شکل (۶-۲۸) نتیجه پراش XRD حاصل از یک نمونه انباشت شده با روی به روش الکتروانباشت پالسی با اکسایش مستقیم آورده شده است.
برای نمونه با نانوسیمهای قلع ابتدا در دماهای پایین (حدود c3000 ) اکسیداسیون انجام پذیرفت که نتیجهای از الگوی پراش حاصل نگردید و درصد کمی از سیمها اکسید گردیدند.
سپس نمونه حاوی لایهی AL در دمای حدود c650-630 در کوره قرار گرفت، که چون این مقدار از دمای ذوب آلومینیوم بالاتر بود و بعلت افزایش حجم آلومینا و تفاوت در مقدار انبساط حجمی، قسمت آلومینیومی اطراف نمونه چروک خورده و غیرقابل استفاده جهت XRD شد. در آخر نمونه را دردمایc5500 و به مدت حدود ۳۵-۴۰ ساعت در کوره قرار داده و از آن الگوی پراش XRD تهیه کردیم (بعد از چسباندن بر شیشه و حل آلومینیوم). این الگو در شکل (۶-۲۹) آورده شده است.
شکل (۶-۲۸) تصویر XRD حاصل از قالب آلومینای آندیک متخلخل انباشته با نانوسیمهای Zn بعد از اکسایش در دمای c3000 به مدت حدود ۴۰ ساعت. ستونهای عمودی نمایندهی پیکهای غالب در یک الگوی مشخصهی پراش ZnO است.
شکل (۶-۲۹) تصویر XRD حاصل از قالب آلومینای متخلخل انباشته با نانوسیمهای Sn بعد از اکسایش در دمای c5500 به مدت حدود ۴۰ ساعت. ستونهای عمودی نمایندهی پیکهای غالب در یک الگوی مشخصهی پراش SnO2 است.
۶-۶- مقاومتسنجی نمونهها
در این بخش به اندازه گیری مقامت الکتریکی در بعضی نمونهها و با شرایط خاص میپردازیم. در اینجا هدف ما رسیدن به یک مقاومت بهینه از نمونههای تولیدی است تا ببینیم آیا امکان استفاده در تراشههای الکتریکی را دارند یا خیر. چند روش محدود در آزمایشگاه بررسی گردید که بطور خلاصه در ادامه توضیح داده خواهند شد.
۶-۶-۱- مقاومتسنجی بدون انحلال لایهی سدی
برای اینکار باید از نمونه ای که با ماده انباشتی لبریز گشته و سطح نمونه را رسانا نموده استفاده کرد. در نتیجه اتصال از بالا و پایین (آلومینیوم زیر نمونه ) نمونه برقرار میباشد. قبلاً گفتیم مقاومت لایهی سدی بالا بوده و میتوان آن را تقریباً عایق فرض کرد. اما هنگامیکه جهت انباشت تناوبی یا پالسی این لایه را نازکسازی میکنیم، ضخامت از ته حفرهها تا سطح آلومینیوم بسیار کم شده و بخاطر همین اصل است که الکترونها میتوانند با تونلزنی در طول این لایه جابجا شده و باعث انباشت ماده گردند. در نتیجه جریان کمی می تواند از آن عبور کرده و با گذر از نانوسیمها و سطح رسانای روی نمونه، امکان اندازه گیری مقاومت را برای ما فراهم آورد.
یک نمونه نانوسیم Sn با انباشت و رسانندگی سطحی مناسب، برای این کار استفاده شد. مقاومت توسط آوومتر اندازه گیری شد. مقدار اندازه گیری شده کمی متغیر بوده و در نقاط مختلف نیز یکسان نبود. مقدار تقریبی متوسط برابر MΩ۲/۱ بود، که این مقدار برای یک نمونه مقاومت تجاری بالا میباشد، در نتیجه با اکسید کردن نیز مقدار بالاتر و نامناسبتر میگردد.
۶-۶-۲- مقاومتسنجی با انحلال لایهی سدی از روی کار
در این روش از یک نمونه انباشت شده از Zn که لبریز هم نبود و از روش الکتروانباشت پالسی بدست آمده بود استفاده کردیم. ابتدا نمونه را در محلول NaOH 25% قرار داده و صبر میکنیم تا این محلول شروع به خوردن آلومینا کند. انحلال از اطراف قسمت سیاه و انباشت شده شروع می شود و حبابها بصورت حلقهای در اطراف این ناحیه دیده میشوند. کمکم انحلال از میان سیمها نیز شروع می شود. در شکل (۶-۲۹) انحلال آلومینا و حبابزنی نمونه قابل مشاهده است.
قبل از آنکه سیمها همراه آلومینای اطراف سیمها خورده شود، محلول که به زیر نمونه راه پیدا کرده قسمت لایهی سدی را حل کرده و لبهی لایهی مشکی رنگ، با حبابزدنها بالا می آید. هنگامیکه احساس کنیم لایهی سیاه رنگ از سطح زیرین جدا شده، نمونه را از محلول در آورده و در آب مقطر شستشو میدهیم. البته باید با دقت نمونه را در آورد تا این لایه بر سطح آلومینیوم باقی بماند و در محلول نیفتد. حال صبر میکنیم تا نمونه خشک شود.
از آنجا که زیر این لایه، آلومینیوم باقی مانده است، اتصال الکتریکی از زیر باید برقرار باشد. پس یک الکترود آوومتر را به لایهی آلومینیومی و یکی را به روی سطح نانوسیمها متصل میکنیم.
با حرکت الکترود در بعضی مناطق، مقاومت بسیار بالا میباشد. در بعضی مناطق نیز مقاومت اعدادی در حدود Ω۱۳۰۰ را نشان میدهد. این به آن معناست که در بعضی مناطق لایهی سدی بین سیمها و آلومینیوم زیر نمونه حل شده، ولی در بعضی مناطق همچنان باقی مانده است. از آن جا که انحلال قسمت متخلخل آغاز شده و کم کم سیمها نیز خورده میشدند، مجبور بودیم تا نمونه را از محلول خارج کنیم. این زمان حدود ۲۰ دقیقه به طول میانجامد. پس با اطمینان نمی توان صبر کرد تا همه قسمت های لایهی سدی بطور یکنواخت حل شده و یک مقاومت ایدهآل داشته باشیم.
شکل (۶-۳۰) قالب آلومینای آندیک متخلخل انباشته با روی در حین انحلال
در محلول NaOH 25%
۶-۶-۳- مقاومتسنجی با انحلال لایهی سدی از پشت کار
در این روش لایهی سدی پس ازانحلال آلومینیوم از پشت نمونه برداشته میگردد. برای این کار میتوان فسفریک ۵% یا ۸% و یا NaOH 25% را امتحان کرد.
ابتدا سه نمونه انباشت شده توسط Zn به روش پالسی که کاملاً سیاه شده اند را انتخاب کردیم.
نمونه اول که بعد از انباشت طولانی مدت لبریز شده بود، با بررسی توسط آوومتر فاقد رسانندگی سطحی بود. در نتیجه توسط دستمال، سطح رویی را پاک کردیم، تا یک لایه رسانا بر سطح آن بنشانیم. با این کار ذرات ماده رسانا نیز کمی در حفرهها نفوذ می کنند.
در نمونه دوم نیز در زمان طولانی Zn انباشت گردیده ، اما سرریز نگردیده بود. این نمونه و نمونه قبلی در ولتاژ حدود v50 حدود ۲۰ دقیقه در فسفریک اسید ۵% گشادسازی شده بودند.
تهیه نمونه سوم به این صورت بود که بعد از انباشت Zn به مدت حدود s400 و قبل از سرریز شدن، محلول انباشت را با gr489/23 CoSO4 و gr 5/4 H3BO3 در ml100 آب مقطر عوض کرده و با روش تناوبی با شرایط Hz200 و v18 کبالت انباشت کردیم. اگر کبالت را مستقیماً با این شرایط، انباشت تناوبی میکردیم، راحت پر شده و لبریز میشد، اما از آن جا که Zn خوشنشین نیست، نشست ماده ثانویه بر روی خود را نیز دچار مشکل می کند. در نتیجه کبالت نیز با گذشت زمان طولانی سر ریز نشد. این دو نمونه را نیز با یک لایه رسانا پوشش میدهیم.
برای این کار از یک لایه طلا که با روش تبخیری ژول بر روی سطح نشانده شد، استفاده کردیم. این کار سبب می شود تا علاوه بر ایجاد اتصال الکتریکی در سه نمونه، ذرات طلا کمی بدرون حفرهها نفوذ کرده و تعداد بیشتری از سیمها با سطح طلا اندود اتصال الکتریکی برقرار نمایند. برای جلوگیری از رسیدن این لایهی رسانا به آلومینیوم اطراف و ایجاد اتصال کوتاه دو طرف نمونه، قبل از نشست، یک ماسک بر روی هر نمونه قرار میدهیم. سطح حاصل در شکل (۶-۳۰) آمده است. با اندازه گیری مقاومت دو طرف سطح هر نمونه متوجه میشویم که اتمهای طلا به سطح بعضی از سیمها رسیده و ارتباط الکتریکی برقرار شده است، اما مقدار مقاومت نشان میدهد که تعداد سیمهایی که در مدار قرار گرفتهاند در هر نمونه متفاوت است. مقدار این اندازه گیریها بطور تقریبی در جدول (۶-۴) آمده است. این مقاومت مجموع مقاومت لایهی سدی بعلاوهی مقاومت نانوسیمهای در مسیر قرار گرفته میباشد. قالب هر سه نمونه با آندایز v130 و سپس نازکسازی تا v12 تهیه شده بود. میدانیم که در آندایز سخت نظم حفره در ته حفره بهتر از سر آن میباشد. ما در دو نمونه اول این نکته را در نظر گرفته و با گشادسازی حفره، سر آنها را بازتر کرده و اتمهای طلای بیشتری به داخل حفرهها راه یافته و سیمهای بیشتری در مسیر قرار گرفته و در نتیجه مقاومت این دو نمونه از سومی کمتر شده است. اما تفاوت مقدار در نمونه اول و دوم شاید به آن دلیل باشد که ما سطح نمونه اول را پاک کردیم، در نتیجه شاید کمی آلودگی یا بینظمی بر سطح نمونه موجب کمی اختلال در داخل شدن طلا در حفرههای بیشتر گردیده است.
شکل (۶-۳۱) قالب آلومینای آندیک متخلخل پر شده با روی به روش انباشت الکتروشیمیایی پالسی که روی آن به روش تبخیری ژول با قرار دادن یک ماسک دایروی طلا نشانده شده است.
حال این سه نمونه را در کوره با افزایش تدریجی دما تا c3000 و تا زمان حدود ۳۶ ساعت قرار میدهیم، تا سیمها تا حد ممکن اکسید گردند، سپس مجدداً مقاومت آنها را اندازه گیری میکنیم. میانگین مقاومتهای اندازه گیری شده برای این سه نمونه نیز در جدول (۶-۴) آورده شده است.
مشاهده میگردد که مقامت سه نمونه بالاتر رفته که بدلیل اکسید شدن نانوسیمها و تبدیل شدن به ماده نیمرسانا یعنی ZnO میباشد، اما افزایش مقاومت در نمونهها روند مشخصی را دنبال نکرده است، که ممکن است نوع اکسید شدن و مقدار سیمهای اکسید شده و یا تفاوت ساخت علت آن باشد. حال میخواهیم مقاومت نانوسیمها بدون لایهی سدی را بررسی کنیم. حل کردن لایهی سدی زیر نانوسیمها کار آسانی نبوده و ممکن است سیمها نیز به همراه این لایه حل گردند. در نتیجه برای بدست آوردن زمان لازم جهت انحلال این لایه و همچنین نقطهی بحرانی قبل از حل سیمها (انحلال سیمها را میتوان با تمام شدن سیاهی نمونه با چشم در محلول رصد کرد و یا با تغییر آنی جریان و ولتاژ نمونه تخمین زد) می تواند ما را به مقدار مقاومت ایدهآلمان جهت مقاصد صنعتی نزدیک کند.
جدول (۶-۴) مقاومت دوسر نمونههای انباشتی با روکش طلا قبل و بعد از اکسایش
مقاومت دو سر نمونه بعد از اکسایش | مقاومت دو سر نمونه قبل از اکسایش | قالب انباشتی |
MΩ۶۵ | MΩ۳/۱ | نمونه اول |
MΩ۵/۲۲ | KΩ۱۳۰ | نمونه دوم |
MΩ۱۱۵ | MΩ۱۰ | نمونه سوم |